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发明名称
摘要
申请公布号 JP5569068(B2) 申请公布日期 2014.08.13
申请号 JP20100062201 申请日期 2010.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;C23C14/34;C23C14/58;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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