发明名称 |
阵列基板及其制造方法、液晶显示器 |
摘要 |
本发明公开了一种阵列基板及其制造方法以及液晶显示器。所述阵列基板包括:一基板,包括显示区域和包围所述显示区域的周边区域;形成于所述基板上显示区域内的半导体有源结构和像素电极,所述半导体有源结构包括半导体通道、源极/漏极;形成于所述基板、半导体有源结构和像素电极上的栅极绝缘层;形成于所述栅极绝缘层上栅极和扫描线,所述栅极与所述半导体通道区域位置相对应;形成于所述栅极、扫描线和栅极绝缘层上的钝化层;以及形成于所述钝化层上的数据线和公共电极;其中,所述半导体有源结构和像素电极为透明金属氧化物半导体。采用上述阵列基板及其制造方法,在简化工艺、提高了电子迁移率的同时,还避免了源漏极寄生电容。 |
申请公布号 |
CN103984170A |
申请公布日期 |
2014.08.13 |
申请号 |
CN201310053613.7 |
申请日期 |
2013.02.19 |
申请人 |
上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
发明人 |
翟应腾;吴勇 |
分类号 |
G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1362(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种阵列基板,包括:一基板,包括显示区域和包围所述显示区域的周边区域;形成于所述基板上显示区域内的半导体有源结构和像素电极,所述半导体有源结构包括半导体通道、源极/漏极;形成于所述基板、半导体有源结构和像素电极上的栅极绝缘层;形成于所述栅极绝缘层上栅极和扫描线,所述栅极与所述半导体通道区域位置相对应;形成于所述栅极、扫描线和栅极绝缘层上的钝化层;以及形成于所述钝化层上的数据线和公共电极;其中,所述半导体有源结构和像素电极为透明金属氧化物半导体。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区汇庆路889号 |