发明名称 |
层叠抛光垫的制造方法 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种无弯曲且在抛光时不会在抛光层和缓冲层之间产生剥离的层叠抛光垫的制造方法。本发明的层叠抛光垫的制造方法包括以下步骤:在缓冲层的一面以可剥离的方式设置热塑性树脂基材,在得到的附有基材的缓冲层的未设置所述热塑性树脂基材的面上层叠热熔粘结剂片的步骤;将层叠的热熔粘结剂片进行加热以使其熔融或软化的步骤;将抛光层层叠至已熔融或软化的热熔粘结剂上而制备层叠体的步骤;将层叠体切割为抛光层的大小而制备层叠抛光片的步骤;和将所述热塑性树脂基材从层叠抛光片剥离的步骤。 |
申请公布号 |
CN103987494A |
申请公布日期 |
2014.08.13 |
申请号 |
CN201380003985.7 |
申请日期 |
2013.01.09 |
申请人 |
东洋橡胶工业株式会社 |
发明人 |
中井良之 |
分类号 |
B24B37/20(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I |
主分类号 |
B24B37/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京北翔知识产权代理有限公司 11285 |
代理人 |
钟守期;苏萌 |
主权项 |
一种层叠抛光垫的制造方法,其包括以下步骤:在缓冲层的一面以可剥离的方式设置热塑性树脂基材,在得到的附有基材的缓冲层的未设置所述热塑性树脂基材的面上层叠热熔粘结剂片的步骤;将层叠的热熔粘结剂片进行加热使其熔融或软化的步骤;将抛光层层叠至已熔融或软化的热熔粘结剂上而制备层叠体的步骤;将层叠体切割为抛光层的大小而制备层叠抛光片的步骤;和将所述热塑性树脂基材从层叠抛光片剥离的步骤。 |
地址 |
日本大阪府大阪市 |