主权项 |
一种使用过的矽冷却液处理装置,其特征为:包括:膜模块,具有中空纤维膜;第一流路,连结于所述膜模块的一端部;第二流路,连结于所述膜模块的另一端部;泵,送出由使用过的矽冷却液构成的原液;方向切换机构,能够在从所述泵送出的原液从所述第一流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第一状态、与所述原液从所述第二流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第二状态之间,切换原液往所述膜模块内的流动方向;逆洗机构,利用逆洗用流体直接或间接对所述中空纤维膜施加外压,以进行所述中空纤维膜的逆洗;滤液流出通路,使经所述膜模块过滤的滤液从所述膜模块流出;第一排出通路,排出由从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的原液而被浓缩的浓缩液;第二排出通路,排出由从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的原液而被浓缩的浓缩液;其中,所述方向切换机构被构成为,在所述泵被驱动而进行过滤时与利用所述逆洗机构进行所述中空纤维膜的逆洗时之间的期间,能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液往所述膜模块内的流动方向。 |