| 发明名称 |
气动式微帮浦 |
| 摘要 |
本发明提出一种气动式微帮浦，包括一流道层、一上基板、一下基板、一上层薄膜及一下层薄膜。流道层包括一流体入口、一流体出口及一腔体，流体依序流过流体入口、腔体、及流体出口。上基板包括对应于腔体的一上气室。下基板包括对应于腔体的一下气室。上层薄膜设置于上气室与腔体之间，且下层薄膜设置于下气室与腔体之间。 |
| 申请公布号 |
TWI448413 |
申请公布日期 |
2014.08.11 |
| 申请号 |
TW100132197 |
申请日期 |
2011.09.07 |
| 申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
简良如;邱祈翰 |
| 分类号 |
B81B3/00;F04B43/02 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
| 主权项 |
一种气动式微帮浦，包括：一流道层，包括一流体入口、一流体出口、及一腔体，其中流体依序流过该流体入口、该腔体、及该流体出口；一上基板，包括对应于该腔体的一上气室；一下基板，包括对应于该腔体的一下气室；一上层薄膜，设置于该上气室与该腔体之间；以及一下层薄膜，设置于该下气室与该腔体之间。 |
| 地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
