Mikrostrukturmodifikation in Kupferverbindungsstrukturen

摘要

Eine Metallverbindungsstruktur und ein Verfahren zur Herstellung der Metallverbindungsstruktur. Mangan (Mn) wird in eine Kupfer(Cu)-Verbindungsstruktur eingebaut, um die Mikrostruktur zu modifizieren, um Bambusstil-Korngrenzen in Sub-90-nm-Technologien zu erreichen. Vorzugsweise sind die Bambuskörner durch Abstände von weniger als der„Blech”-Länge getrennt, so dass eine Kupfer(Cu)-Diffusion durch Korngrenzen vermieden wird. Das hinzugefügte Mn löst auch das Wachstum von Cu-Körnern herunter bis zu der unteren Fläche der Metallleitung aus, so dass eine echte Bambusmikrostruktur gebildet wird, welche bis zu der unteren Fläche reicht, und der Cu-Diffusionsmechanismus entlang Korngrenzen, die entlang der Länge der Metallleitung orientiert sind, eliminiert wird.