发明名称 |
多晶硅装料设备及其控制方法 |
摘要 |
本发明公开了一种多晶硅装料设备及其控制方法,所述多晶硅装料设备包括石英坩埚,其中,所述石英坩埚设于坩埚平台上,所述石英坩埚的上方设有悬吊支架,所述悬吊支架通过缓冲机构和固定器相连,所述固定器上设有吸盘,所述悬吊支架和坩埚平台之间设有升降机构。本发明提供的多晶硅装料设备及其控制方法,通过吸盘将硅料吸附在固定器上,经升降机构将块状硅料无冲击的稳定放入坩埚内,且不会破环坩埚涂层,大大减小装料时间,避免人工引入的污染影响铸锭质量,从而提高铸锭产量,且设备结构简单,易于控制操作。 |
申请公布号 |
CN103966666A |
申请公布日期 |
2014.08.06 |
申请号 |
CN201410214878.5 |
申请日期 |
2014.05.20 |
申请人 |
江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
发明人 |
高文秀;李帅;赵百通 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
上海申汇专利代理有限公司 31001 |
代理人 |
金碎平 |
主权项 |
一种多晶硅装料设备,包括石英坩埚(6),其特征在于,所述石英坩埚(6)设于坩埚平台(7)上,所述石英坩埚(6)的上方设有悬吊支架(10),所述悬吊支架(10)通过缓冲机构(2)和固定器(3)相连,所述固定器(3)上设有吸盘(4),所述悬吊支架(10)和坩埚平台(7)之间设有升降机构。 |
地址 |
214222 江苏省无锡市宜兴经济开放区文庄路8号 |