发明名称 多晶硅装料设备及其控制方法
摘要 本发明公开了一种多晶硅装料设备及其控制方法,所述多晶硅装料设备包括石英坩埚,其中,所述石英坩埚设于坩埚平台上,所述石英坩埚的上方设有悬吊支架,所述悬吊支架通过缓冲机构和固定器相连,所述固定器上设有吸盘,所述悬吊支架和坩埚平台之间设有升降机构。本发明提供的多晶硅装料设备及其控制方法,通过吸盘将硅料吸附在固定器上,经升降机构将块状硅料无冲击的稳定放入坩埚内,且不会破环坩埚涂层,大大减小装料时间,避免人工引入的污染影响铸锭质量,从而提高铸锭产量,且设备结构简单,易于控制操作。
申请公布号 CN103966666A 申请公布日期 2014.08.06
申请号 CN201410214878.5 申请日期 2014.05.20
申请人 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 发明人 高文秀;李帅;赵百通
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人 金碎平
主权项 一种多晶硅装料设备,包括石英坩埚(6),其特征在于,所述石英坩埚(6)设于坩埚平台(7)上,所述石英坩埚(6)的上方设有悬吊支架(10),所述悬吊支架(10)通过缓冲机构(2)和固定器(3)相连,所述固定器(3)上设有吸盘(4),所述悬吊支架(10)和坩埚平台(7)之间设有升降机构。
地址 214222 江苏省无锡市宜兴经济开放区文庄路8号