| 发明名称 | SiGe层的形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种SiGe层的形成方法，包括以下步骤：提供顶部具有Si层的衬底；向Si层表层注入含有Ge元素的原子、分子、离子或等离子体，以形成SiGe层。该方法能够形成厚度较薄、质量较好的SiGe层，具有简便易行，成本较低的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103972065A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201410187137.2 | 申请日期 | 2014.05.05 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 肖磊;王敬;梁仁荣;许军 |
| 分类号 | H01L21/266(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/266(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 张大威 |
| 主权项 | 一种SiGe层的形成方法，其特征在于，包括以下步骤：A.提供顶部具有Si层的衬底；B.向所述Si层表层注入含有Ge元素的原子、分子、离子或等离子体，以形成SiGe层。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||