一种纤维状硅基薄膜太阳电池及其制备方法

摘要

本发明属于柔性、高效硅基薄膜太阳电池领域，具体为一种纤维状硅基薄膜太阳电池及其制备方法。本专利采用纤维状基底，若基底不导电需要先在基底上制备背电极，然后利用三室PECVD镀膜系统，在掺杂室及本征室中以SiH₄、B₂H₆、PH₃、H₂、CH₄、GeH₄等为放电气体，在基底上依次制备n/i/p结构的硅薄膜，最后，利用磁控溅射镀膜系统p层表面制备ITO薄膜作为前电极和钝化层并包覆工作电极引出正电极”，制备出ss/n/i/p/ITO/前电极或ss/背电极/n/i/p/ITO/前电极结构的纤维状硅基薄膜太阳电池，将硅基薄膜太阳电池引入纤维化，电池具有三维采光、弯曲度大、易制备及可编织等优点。

主权项

一种纤维状硅基薄膜太阳电池及其制备方法，其特征是：“采用柔性纤维状基底，进行腐蚀清洗，若基底不导电需利用磁控溅射镀膜系统在基底上制备背电极，再利用三室等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）镀膜系统，以SiH₄、B₂H₆、PH₃、H₂、CH₄、GeH₄等为气体，先在掺杂室1中制备n型硅薄膜；再本征室中制备i型硅薄膜；然后再在掺杂室2中制备p型硅薄膜；最后，利用磁控溅射镀膜系统制备ITO薄膜作为前电极和钝化层并包裹缠绕的工作电极引出正电极”。