可实时测量的同步相移斐索干涉装置

摘要

本发明目的是提供一种能对物体表面形貌进行实时高精度测量的同步相移斐索干涉装置。本发明将同步相移技术和斐索干涉方法相结合，解决了传统干涉仪稳定性差、测量精度低、不能实时测量等技术问题。该可实时测量的同步相移斐索干涉装置包括照明单元、干涉单元、同步相移单元。本发明采用同轴干涉光路，充分利用了CCD的空间带宽积，与离轴光路相比具有更高的空间分辨率；本发明采用1/4波片代替传统斐索干涉仪中的玻璃平板，使得物光和参考光具有正交的偏振方向，在实现同步相移前提下保持装置结构的紧凑性；本发明通过一次曝光可以得到四幅相移干涉图样，在保证高空间分辨率的前提下，实现了测量的实时性。

主权项

一种可实时测量的同步相移斐索干涉装置，包括照明单元、干涉单元、同步相移单元，其特征在于：所述干涉单元包括设置在光路上的非偏振分光棱镜、第一1/4波片和样品，样品平行于1/4波片的表面放置；所述第一1/4波片的主轴方向和照明光的偏振方向成45°角；所述同步相移单元包括依次设置在非偏振分光棱镜反射光路方向的第二1/4波片、平行分光单元、滤波单元、偏振单元以及CCD相机；所述第二1/4波片的主轴方向分别与物光和参考光偏振方向成45°角。