| 发明名称 | 工艺控制方法、系统和半导体设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种工艺控制方法、系统和半导体设备。该方法包括：根据半导体设备的配置情况，设置半导体设备的拓扑结构；根据设置的半导体设备的拓扑结构，生成手动传片的物料的传输路径；根据所述手动传片的物料的传输路径和自动任务的任务信息生成任务分配信息，以供半导体设备根据所述任务分配信息在执行自动任务的过程中执行手动传片。本发明的技术方案使得半导体设备可根据该任务分配信息在执行自动Job的过程中执行手动传片，从而提高了设备的利用率；并且用户无需随时关注自动Job的完成情况，从而提高了用户的工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103972129A | 申请公布日期 | 2014.08.06 |
| 申请号 | CN201310045990.6 | 申请日期 | 2013.02.05 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 崔琳 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种工艺控制方法，其特征在于，包括：根据半导体设备的配置情况，设置半导体设备的拓扑结构；根据设置的半导体设备的拓扑结构，生成手动传片的物料的传输路径；根据所述手动传片的物料的传输路径和自动任务的任务信息生成任务分配信息，以供半导体设备根据所述任务分配信息在执行自动任务的过程中执行手动传片。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||