具有锥状狭缝的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构

摘要

一种具有锥状狭缝（34）的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构（30）。其中，微型光谱仪的光机模块包含一输入部（20）以及一微型绕射光栅（40）。输入部（20）包含一狭缝结构（30），其接收一第一光学信号（S1）并输出一第二光学信号（S2）沿着一第一光路（OP1）行进。狭缝结构（30）包含一基板（32）及一狭缝（34），狭缝（34）贯穿基板（32），且狭缝（34）从基板（32）的一第一面（32A）到基板（32）的一第二面（32B）具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅（40）设置于第一光路（OP1）上，接收第二光学信号（S2）并将第二光学信号（S2）分离成多个光谱分量（C）沿着一第二光路（OP2）行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构，可以利用半导体制造工艺来大量生产，降低成本，并且可使狭缝具有平滑的表面，以免对于入射光造成反效果。

主权项

一种具有锥状狭缝的微型光谱仪的光机模块，其特征在于，所述微型光谱仪的光机模块包含：一输入部，包含一狭缝结构，其接收一第一光学信号并输出一第二光学信号沿着一第一光路行进；一微型绕射光栅，设置于所述第一光路上，接收所述第二光学信号并将所述第二光学信号分离成多个光谱分量沿着一第二光路行进；以及一波导，其将通过所述输入部的所述第二光学信号导引到所述微型绕射光栅；其中，所述狭缝结构进一步包含一基板及一狭缝，所述狭缝贯穿所述基板，且在与所述波导延伸的平面垂直的截面方向上，所述狭缝从所述基板的一第一面到所述基板的一第二面具有渐缩的尺寸，所述第一面较所述第二面远离所述微型绕射光栅。