一种制备多晶硅铸锭用坩埚免烧结涂层的方法

摘要

一种制备多晶硅铸锭用坩埚免烧结涂层的方法，包括以下步骤：一、将硅溶胶、氮化硅和水按质量比1~2:3~6:8~16搅拌；二、将坩埚预热至80~150℃；三、将混合后的溶液喷涂在坩埚内壁；通过上述步骤获得制备多晶硅铸锭的免烧结涂层。本发明的方法，与现有技术中的烧结的坩埚相比，免去喷涂后高温烧结等工序，简化了生产工艺，提高了生产效率。坩埚生产周期缩短，减化了坩埚喷涂工艺，大大降低了能耗并提高了坩埚以及坩埚铸锭成品率。

主权项

一种制备多晶硅铸锭用坩埚免烧结涂层的方法，其特征是包括以下步骤：一、将硅溶胶、氮化硅和水按质量比1~2:3~6:8~16搅拌；所述的硅溶胶质量浓度为26~50wt%；硅溶胶中SiO₂的粒径分布在10~50nm之间；二、将坩埚（3）预热至80~150℃；三、将混合后的溶液喷涂在坩埚（3）内壁，喷涂厚度控制在0.5~0.7mm，喷涂过程的温度控制在60~100℃；通过上述步骤获得制备多晶硅铸锭的免烧结涂层。