可自锁的基片挡板组件

摘要

本发明属于镀膜技术领域，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。包括大基板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体内，所述主动轴与真空腔体下端的真空室大法兰转动连接，主动轴的另一端上套设有套筒，所述中间轴的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴另一端的斜面II相配合；所述主动轴通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴旋转，中间轴和主动轴通过摩擦角实现自锁。本发明把基片挡板组件的中间轴和下面主动轴通过摩擦传递转动，可实现有效自锁。

主权项

一种可自锁的基片挡板组件，其特征在于：包括大基板挡板(1)、中间轴(2)、主动轴(4)及驱动机构，其中大基板挡板(1)和中间轴(2)设置于真空腔体(8)内，所述大基板挡板(1)设置于中间轴(2)的上端，中间轴(2)的下端端部为斜面I，所述主动轴(4)的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴(2)下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体(8)内，所述主动轴(4)与真空腔体(8)下端的真空室大法兰(3)转动连接，主动轴(4)的另一端上套设有套筒，所述中间轴(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴(4)另一端的斜面II相配合；所述主动轴(4)通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴(2)旋转，中间轴(2)和主动轴(4)通过摩擦角实现自锁。