基于偏振相移原理的环路径向剪切N步相移干涉仪

摘要

本发明提供了一种基于偏振相移原理的环路径向剪切N步相移干涉仪，由偏振调制系统、环路径向剪切系统、N步相移系统和成像系统组成。被测光束经过被测元件后产生的被测波前进入偏振调制系统后变为线偏振光。线偏振光进入环路径向剪切系统后被分成两束偏振方向分别沿水平和竖直方向的正交线偏振光，再经过N步相移系统后成为两束旋向分别为左旋和右旋的圆偏振光。旋转检偏器实现N步相移。最后通过成像系统采集N幅干涉条纹图，再采用相移算法对干涉图进行分析计算重构被测光束的波前相位。本发明无需参考镜，光路结构简单，抗振动能力好；采用N步相移技术复原波前，提高了相位提取的数据处理速度和算法精度。

主权项

基于偏振相移原理的环路径向剪切N步相移干涉仪，其特征在于：包括偏振分束棱镜PBS₁、1/2波片HW、偏振分束棱镜PBS₂、透镜L₁和L₂、反射镜M₁和M₂、1/4波片QW、检偏器P、光电耦合器件CCD以及计算机组成；其中偏振分束棱镜PBS₁和1/2波片HW组成偏振调制系统；偏振分束棱镜PBS₂、透镜L₁和L₂、反射镜M₁和M₂组成环路径向剪切系统，透镜L₁和L₂的焦距分别为f₁和f₂，且f₁f₂；1/4波片QW和检偏器P组成N步相移系统；光电耦合器件CCD和计算机组成成像系统。