洁净室自净时间测试装置及方法

摘要

本发明揭示了一种洁净室自净时间测试装置及方法，所述测试装置包括气溶胶发生器、第一管路、发生喷口、喷头、采样泵吸口、采样泵、粒子计数器、计算和控制装置、第二管路、数据线、反馈数据线、空气调节阀；所述气溶胶发生器通过第一管路连接喷头，气溶胶发生器生成的气溶胶通过第一管路输送至发生喷口喷出而后在喷头中形成静压，由喷头上的小孔均匀送入室内，使得含尘气溶胶均匀进入室内；所述采样泵吸口与采样泵连接，采样泵、粒子计数器、计算和控制装置依次连接。本发明提出的洁净室自净时间测试装置及方法，很好地解决了需要人工操作的问题，也避免了人员对洁净室内颗粒物浓度的影响，满足无人洁净室自净时间测试的要求。

主权项

一种洁净室自净时间测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：气溶胶发生器(1)、第一管路(2)、发生喷口(4)、喷头(5)、采样泵吸口(6)、采样泵(7)、粒子计数器(8)、计算和控制装置(9)、第二管路(12)、数据线(13)、反馈数据线(14)、空气调节阀(15)；所述气溶胶发生器(1)通过第一管路(2)连接喷头(5)，气溶胶发生器(1)生成的气溶胶通过第一管路(2)输送至发生喷口(4)喷出而后在喷头(5)中形成静压，由喷头(5)上的小孔均匀送入室内，使得含尘气溶胶均匀进入室内；所述采样泵吸口(6)与采样泵(7)连接，采样泵(7)、粒子计数器(8)、计算和控制装置(9)依次连接；采样泵吸口(6)与采样泵(7)采集颗粒物，粒子计数器(8)对采样泵(7)采集的颗粒物进行计数，并将信号传入计算和控制装置(9)；计算和控制装置(9)控制气溶胶发生器(1)的工作，如果计算和控制装置(9)判断室内的颗粒物浓度到达要求的上限浓度后，关闭空气调节阀(15)，并控制气溶胶发生器(1)停止自动发尘，洁净系统开启，等达到洁净室稳定浓度，计算和控制装置(9)自动计算自净时间，自净时间为洁净室开始运行到最后稳定浓度的时间。