| 摘要 |
In der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil mit einem Substrat und einer Kappenstruktur, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, wobei wenigstens in dem ersten Hohlraum ein Drehratensensor, Beschleunigungssensor, Aktuator, Resonator, Display, digitaler Mikrospiegel, Bolometer und/oder RF-Switch angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume (erster Hohlraum 5) mit einem Gettermaterial (8) versehen ist und auf Grund dieses Gettermaterials (8) einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum (6). |
