感测电浆处理室中的非局限的方法及设备

摘要

本发明系关于一种具普遍性之电浆非局限状态的侦测系统及其方法，该侦测系统被组构以侦测在电浆处理室中之电浆非局限状况。该侦测系统及方法系经过设计以便可靠地及准确地以与处理过程无关及与配方无关地来侦测电浆非局限情况的存在。

主权项

一种用来侦测在电浆处理室中之电浆非局限状况的方法，其中该电浆非局限状况之特征在于：电浆的一部分存在于一电浆局限体积外部，且其中该电浆局限体积系在该电浆处理室之中，该方法包括：在该电浆处理室内之选取位置内设置感测器，其中该选取位置邻近电浆处理室组件，其中该电浆处理室组件被组构成：若该电浆局限于该电浆局限体积内时，于电浆处理期间引导第一程度之回返的射频(RF)电流，且若该电浆的该部分存在于该电浆局限体积外部，于该电浆处理期间引导第二程度之回返的该RF电流，且其中在该电浆处理室之中设置该感测器及该选取位置，使得该第一程度之回返的该RF电流低于该第二程度之回返的该RF电流；藉由该感测器产生一输出讯号，其中该输出讯号在第一状态与第二状态间具可区辨之差异性，以指示该电浆处理室是否经历该电浆非局限状况，其中该输出讯号的该第一状态为该第一程度之回返的该RF电流的特征，且其中该输出讯号的该第二状态为该第二程度之回返的该RF电流的特征；且回应该输出讯号，提供通告该电浆处理室是否正处于该电浆非局限状况的资料讯号。