| 摘要 |
本发明是一种减压处理装置,其可在朝处理被加工物之减压室将被加工物搬入与搬出时,将减压室维持在减压的状态。本发明之减压处理装置是在减压状态下处理被加工物,其具有:壳体,具有处理被加工物之第1减压室、以及与该第1减压室利用分隔壁所区划并且透过设于该分隔壁之连通开口而连通的第2减压室;快门机构,将设于该分隔壁之该连通开口加以开关;闸门机构,形成于该壳体并将与该第2减压室连通的被加工物搬入搬出用开口加以开关;被加工物保持机构,配置于该第1减压室并保持被加工物;处理机构,对保持于该被加工物保持机构之被加工物实施处理;第1减压机构,将该第1减压室减压;第2减压机构,将该第2减压室减压;暂存机构,配置于该第2减压室并暂存被加工物;被加工物搬运机构,在暂存机构与被加工物保持机构之间来搬运被加工物。 |
