不同表面上之膜层的制造方法;METHOD OF FORMING FILM ON DIFFERENT SURFACES

摘要

一种膜层的制造方法。制造方法包括至少以下步骤。提供一第一基板及一第二基板于一批次制程系统(batch processing system)中,第一基板系以一第一表面相邻于第二基板之一第二表面,第一基板之第一表面具有一第一表面状态,第二基板之第二表面具有一第二表面状态,第一表面状态和第二表面状态系为不同。提供一预处理气体(pretreatment gas)于基板之表面上,以转换第一表面状态和第二表面状态至一第三表面状态。提供一反应气体,以形成一膜层于基板之具有第三表面状态之表面上。