可挠性光学孔径机构;FLEXIBLE OPTICAL APERTURE MECHANISMS

摘要

本发明阐述一种用于在一光学检测系统(例如，一光学晶圆检测系统)中提供可挠性光学孔径形状之系统。该系统包含用于在该光学晶圆检测系统中提供沿一光束路径之多个光学孔径形状之一个或多个机构。该多个光学孔径形状经堆叠或重叠以组合该等形状且形成沿该光束路径之一单一组合之光学孔径形状。