平台系统校准方法、平台系统、具有该平台系统之微影装置及相关电脑程式产品

摘要

本发明揭示一种用以校准一平台之一编码器位置量测系统的校准方法，该编码器位置量测系统包括一编码器格线及与该编码器格线协作之至少两个感测器头，每一感测器头提供展示在一水平方向及一垂直方向上之一位置敏感度的一感测器头输出信号，该方法包括：a)移动该平台，使得该等感测器头相对于该编码器格线而移动，或反之亦然；b)在该移动期间，藉由该两个感测器头而量测该平台相对于该编码器格线之位置；c)自该等双感测器头之该等感测器头输出信号而判定一垂直位置资料映像；d)自该垂直位置资料映像而计算一水平位置资料映像；及e)应用该经计算水平位置资料映像而校准该编码器位置量测系统。

主权项

一种用以校准一平台之一编码器位置量测系统的校准方法，该编码器位置量测系统包含一编码器格线(grid)及与该编码器格线协作(cooperating)之至少两个感测器头，每一感测器头提供指示在一水平方向及一垂直方向上之一位置敏感度的一感测器头输出信号，该方法包含：移动该平台，使得该等感测器头相对于该编码器格线而移动，或反之亦然；在该移动期间，使用该编码器格线及该等感测器头而量测该平台之一位置；自该等感测器头之感测器头输出信号而判定一垂直位置资料映像(map)；自该垂直位置资料映像而计算一水平位置资料映像；及基于该经计算水平位置资料映像而校准该编码器位置量测系统。