发明名称 含有氧化铈和胶态二氧化矽的分散体
摘要 一种包含氧化铈粒子及氧化铈与胶态二氧化矽之粒子的分散体,其中;- 二氧化矽粒子之ζ(zeta)电位为负,且氧化铈粒子的ζ电位为正或等于零,且分散体之ζ电位整体为负,;- 平均粒径;氧化铈粒子不大于200nm;二氧化矽粒子系小于100nm,;- 于各情况下基于分散体总量之比例;氧化铈粒子系为0.1至5重量%;二氧化矽粒子系为0.01至10重量%,且;-分散体之pH系为3.5至<7.5。
申请公布号 TWI447214 申请公布日期 2014.08.01
申请号 TW097149454 申请日期 2008.12.18
申请人 赢创德固赛有限责任公司 德国 发明人 克罗 麦克
分类号 C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304;H01L21/3105 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种包含氧化铈及胶态二氧化矽之粒子的分散体,其中- 二氧化矽粒子之ζ(zeta)电位为负,且氧化铈粒子的ζ电位为正或等于零,且分散体之ζ电位整体为负,- 平均粒径. 氧化铈粒子为40至90nm. 二氧化矽粒子为10至35nm,- 于各情况下基于分散体总量之比例氧化铈/二氧化矽重量比系为1.25:1至5:1. 氧化铈粒子系为0.1至5重量%. 二氧化矽粒子系为0.01至10重量%且- 分散体之pH系为3.5至<7.5。
地址 德国