基板支持件及使用其之整面成膜基板之制造方法

摘要

本发明系提供一种使整面成膜基板之生产性为良好之基板支持件及使用该基板支持件之整面成膜基板之制造方法。本发明系一种基板支持件及使用其之整面成膜基板之制造方法，该基板支持件为保持第一主面会被整面成膜之基板者，且具备：支持单元，系由单元基体与固定于前述单元基体之第一主面上之密着层所构成，该单元基体为板状零件，其具有面积较前述基板之主面更小的主面，且该密着层具有对前述基板之第二主面附着的剥离性表面；及载体，具有面积较前述单元基体之主面更大的单元固定面，且复数个前述支持单元系以前述单元固定面与前述单元基体之第二主面呈面对面的方向，固定于前述单元固定面上。