净化物体之设备与方法

摘要

本发明系关于一种用于净化薄及/或易碎晶圆(6)的设备，其中，该等晶圆(6)藉由其一侧边固定在承载装置(2)上，每两个相邻晶圆之间各形成一间隙(7)。该设备基本由下列组件构成：-喷淋装置(15)，藉由该喷淋装置将流体送入各间隙(7)中，该喷淋装置具有至少一个喷淋元件(16)，该喷淋元件采用两部分式设计，具有多个喷嘴，其中，在该槽(14)之纵侧各布置一个部分，且此二部分均平行于该槽之纵轴延伸，且就其流动方向而言为相对定位，-槽(14)，该槽内可灌注流体，其尺寸能够将该承载装置(2)容置在该槽中，以及-交替控制装置，藉由该交替控制装置可对该至少一个喷淋元件(16)的两个部分进行控制，以便使直接面对面的喷嘴不会同时被启动，其中，该启动系涉及流体之射出或吸入。

主权项

一种用于净化薄或易碎晶圆(6)的设备，其中，该等晶圆(6)藉由其一侧边固定在承载装置(2)上，且其中两个相邻晶圆(6)之间各形成一间隙(7)，其由下列构成：一槽(14)，该槽内可灌注流体，其尺寸能够将该承载装置(2)容置在该槽中，一喷淋装置(15)，藉由该喷淋装置将流体送入各自的间隙(7)中，该喷淋装置具有至少一个喷淋元件(16)，该喷淋元件具有多个喷嘴且采用一两部分之设计，其中，每一部分各在该槽(14)之一长侧上纵向布置，其布置方式是使该两部分均平行于该槽之纵轴延伸，且相对于其流动方向而定位于相对之方向，一交替控制装置，藉由该交替控制装置该至少一个喷淋元件(16)的该两部分均可彼此从另一部分独立控制，其中，该至少一个喷淋元件(16)的该两部分可以一用于射出之高压及一用于吸入流体之低压来启动。