具有位置修正机能之作业装置及作业方法

摘要

[课题]提供一种可解决驱动装置之定位精度的问题之具有位置修正机能之作业装置。[解决手段]作业装置系具备有：作业台、作业头装置、摄影装置、使作业头装置与作业台朝XYZ方向作相对移动之驱动装置、及测量作业头装置之位置偏移量之控制装置，于上述作业装置中，设置有直动装置，而于该直动装置安装有摄影装置及作业头装置且于X方向或Y方向可往返移动于第1位置及第2位置，且将直动装置安装于驱动装置上，并构成为藉由驱动装置使直动装置可往返移动于与直动装置之往返移动方向为相同之方向，控制装置系根据对直动装置位于第1位置而摄影装置所拍摄之第1修正用图像进行图像处理而取得之位置偏移量(X1,Y1)、与对直动装置位于第2位置而摄影装置所拍摄之第2修正用图像进行图像处理而取得之位置偏移量(X2,Y2)之差值，加以计算驱动装置之位置偏移量。