多连板检测机台

摘要

一种多连板检测机台，其主要包含有一机座、一位移检测装置、若干之Z轴调整装置及一受测平台；该位移检测装置具有一位移轨道组及一检测微调模组，该位移轨道组系设置于该机座上，该检测微调模组系设置于该位移轨道组上，而于该位移轨道组上进行X轴向及Y轴向之位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测者，该等Z轴调整装置系设置于该机座上，以进行Z轴向之往复位移者，该受测平台系设置于该等Z轴调整装置上，具有若干之受测凹槽供受测元件放置；藉以使检测所需之程序及时间皆能大为缩短，更能达到较佳之检测精准度。