用于背光检测之物体载具、系统及方法;OBJECT CARRIER, SYSTEM AND METHOD FOR BACK LIGHT INSPECTION

摘要

本发明揭示一种用于透明或半透明物体之背光检测之物体载具、系统及方法。该载具具有一载具底座层，该载具底座层具有光致发光性质，该载具底座层在该层之顶部上承载该透明或半透明物体。该透明或半透明物体可系一晶圆且该物体载具可系一晶圆夹盘。至少一个光源配置于该物体载具上方以使得自该至少一个光源发射之激发光被引导穿过该透明或半透明物体到达具有光致发光性质之该层。自具有光致发光性质之该层返回之该光由一物镜收集且由一感测器暂存。