扫描头及运用此扫描头的扫描臂;SCAN HEAD AND SCAN ARM USING THE SAME

摘要

一种组装于一种离子布植机的扫描臂和其扫描头,其中扫描头适于微幅倾斜一个工件,并且包括一个外壳、一个轴组件、一个静电夹具、一个第一个驱动机构以及一个微倾斜机构。轴组件穿过外壳的一个第一侧,并且具有一个扭转轴。静电夹具固定于轴组件在外壳外的一个第一端上,用以固持工件。第一驱动机构配置于外壳内,并且适于驱动轴组件和静电夹具绕着扭转轴旋转。微倾斜机构配置于外壳内,并且适于驱动轴组件和静电夹具相对于外壳倾斜。