| 发明名称 |
剥离乾燥设备及方法;DELAMINATION DRYING APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
本发明提供一种用于剥离乾燥一基板的设备。设置一用以接收一基板的腔室。一夹盘支撑及箝制该基板于该腔室之内。一温度控制器控制该基板的温度且能冷却该基板。一真空泵浦与该腔室流体连通。一倾动装置能使该夹盘倾斜至少90度。 |
| 申请公布号 |
TW201430938 |
申请公布日期 |
2014.08.01 |
| 申请号 |
TW102136808 |
申请日期 |
2013.10.11 |
| 申请人 |
兰姆研究公司 |
发明人 |
席拉德 史帝芬Ｍ;海门斯 黛安;休普 亚伦Ｍ;李莫里 雷查纳 |
| 分类号 |
H01L21/306(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/306(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>许峻荣</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
LAM RESEARCH CORPORATION 美国 |
