积层研磨垫

摘要

本发明之目的，系提供一种长寿命的积层研磨垫，该积层研磨垫即便处于因长时间研磨而变高温的情况下，研磨层与缓冲层之间亦不容易剥离，而且即便进行长时间研磨亦不会在缓冲层产生缺陷。本发明的积层研磨垫，系透过接着构件而积层有研磨层及缓冲层，其特征在于：前述接着构件系含有聚酯系热熔接着剂之接着剂层，或是在基材的双面具有前述接着剂层之双面胶带；前述接着剂层或前述双面胶带系相对于表面积具有1~40%的非接着区域，而且相对于基质聚合物之聚酯树脂100重量份，前述聚酯系热熔接着剂系含有2~10重量份之在1分子中具有2个以上环氧丙基之环氧树脂。