基板洗净用辊子轴杆之部分

摘要

【物品用途】;本设计的物品是基板洗净用辊子轴杆，作为对于例如：研磨处理基板(半导体晶圆等)之表面附着之研磨屑等予以洗净用辊子的轴杆。;【设计说明】;实线部分为本物品主张设计之范围，虚线部分非本物品主张设计之范围。;仰视图与俯视图对称、左侧视图与右侧视图对称，均省略之。;立体图中虚线部分省略。