| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung von polykristallinem Silicium, wobei ein Silicium enthaltendes Gas in einen Reaktor eingeleitet und durch Reduktion des Silicium enthaltenden Gases polykristallines Silicium auf einem durch direkten Stromdurchgang auf eine Temperatur von wenigstens 550°C erhitzten Trägerkörper abgeschieden wird, dadurch gekennzeichnet, dass während der Reduktion des Silicium enthaltenden Gases wenigstens ein erstes Metall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Titan, Chrom, Mangan, Eisen, Kobalt, Nickel, Kupfer und Zink zugegen ist, das als ein erster Katalysator wirkt und zudem wenigstens ein vom ersten Metall verschiedenes zweites Metall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Kupfer, Silber und Gold zugegen ist, das als zweiter Katalysator wirkt. |
