发明名称 |
一种炉体装卸移动装置 |
摘要 |
本实用新型涉及设备安装技术领域,尤其涉及一种炉体装卸移动装置。该炉体装卸移动装置包括支架、中间输送架、前输送架、脚轮和定位机构,支架顶部的中间输送架及与中间输送架连接的前输送架上设置滚动件,在支架的底部设置脚轮和支架的一侧设置定位机构,在炉体装卸时,可将支架推至半导体扩散设备的一侧,前输送架插入半导体扩散设备中,并通过定位机构将支架定位好后,可通过滚动件方便地将炉体移出或移入半导体扩散设置中,进而方便了半导体扩散设备中炉体的安装和拆卸,提高了工作效率。 |
申请公布号 |
CN203740453U |
申请公布日期 |
2014.07.30 |
申请号 |
CN201320883575.3 |
申请日期 |
2013.12.30 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
林欣家;郝琪;董金卫;谭瑞雷 |
分类号 |
B65G13/00(2006.01)I;B65G13/12(2006.01)I |
主分类号 |
B65G13/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
孟宪功 |
主权项 |
一种炉体装卸移动装置,其特征在于:其包括支架、中间输送架、前输送架、脚轮和定位机构,中间输送架设置在支架的顶部,前输送架设置在支架的一侧,且前输送架与中间输送架连接,脚轮设置在所述支架的底部,定位机构设置在在支架的一侧,且定位机构位于前输送架的下方,所述中间输送架和前输送架上均布有滚动件。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 |