一种具有检测残留气体功能的蒸镀设备

摘要

本实用新型实施例提供了一种具有检测残留气体功能的蒸镀设备，涉及蒸镀工艺技术领域，可以实时检测腔体内部残留气体的相对含量，及时判断腔体内部是否需要清洗，提高蒸镀设备的使用效率。所述蒸镀设备，包括腔体，位于所述腔体内部的蒸发源；所述蒸镀设备还包括位于所述腔体内部的第一传感器和第二传感器；其中，所述第一传感器位于所述蒸发源上方，用于测试所述蒸发源的蒸发速率；所述第二传感器位于所述蒸发源的两侧的至少一侧处，用于测试所述蒸发源蒸发出的物质被所述腔体内部残留气体反射的反射速率。用于具有检测残留气体功能的蒸镀装置的制造。

主权项

一种具有检测残留气体功能的蒸镀设备，包括腔体，位于所述腔体内部的蒸发源，其特征在于，还包括位于所述腔体内部的第一传感器和第二传感器；其中，所述第一传感器位于所述蒸发源上方，用于测试所述蒸发源的蒸发速率；所述第二传感器位于所述蒸发源的两侧的至少一侧处，用于测试所述蒸发源蒸发出的物质被所述腔体内部残留气体反射的反射速率。