反射镜角度定位装置和加工装置

摘要

本发明公开了反射镜角度定位装置和加工装置，该反射镜角度定位装置包括：被配置旋转反射镜的马达；被配置为检测反射镜的旋转角度的检测器；和控制器，该控制器被配置为向马达供给电流以使得反射镜的旋转角度到达目标角度，基于表示向马达供给的电流的值和反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计被供给电流的反射镜的歪斜角度，并且，如果估计的角度超过容许值，那么执行调整对于马达的电流供给的处理，使得反射镜的歪斜角度落入容许值内。

主权项

一种用于反射镜的角度定位的装置，所述装置包含：反射镜；马达，被配置用于旋转反射镜；检测器，被配置用于检测反射镜的旋转角度；和控制器，被配置用于：向马达供给电流以使得反射镜的旋转角度达到目标角度；基于表示向马达供给的电流的值和反射镜的倾斜角度之间的关系的模型估计在向马达供给电流的情况下的反射镜的倾斜角度，其中反射镜的倾斜角度是反射镜相对于马达的旋转轴的设计中心轴倾斜的角度；并且如果被估计的倾斜角度超过预定容许值，则调整向马达的电流供给以使得反射镜的倾斜角度落入所述预定容许值内。