| 发明名称 | 一种移动式喷嘴 | ||
| 摘要 | 本实用新型是有关于一种移动式喷嘴，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾,其包括：管状喷嘴及喷嘴移动装置；所述管状喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上,能够在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动。本实用新型通过使喷嘴为管状,并且设置喷嘴移动装置使喷嘴左右移动,可以使硅片背面喷砂形成的损伤均匀可控。 | ||
| 申请公布号 | CN203738610U | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201320661801.3 | 申请日期 | 2013.10.23 |
| 申请人 | 洛阳市鼎晶电子材料有限公司 | 发明人 | 郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 |
| 分类号 | B24C5/04(2006.01)I | 主分类号 | B24C5/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 一种移动式喷嘴，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其特征在于其包括：管状喷嘴及喷嘴移动装置；所述管状喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上，能够在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动；所述喷嘴移动装置为汽缸，所述管状喷嘴设置于所述汽缸的活塞上；所述管状喷嘴在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动的距离为0‑200mm。 | ||
| 地址 | 471003 洛阳市高新开发区丰华路1号院内 | ||