| 发明名称 | 用于修整CMP垫的具有平且一致平面形貌的研磨工具及制造方法 | ||
| 摘要 | 在此披露了一种用于修整CMP垫的、具有平且一致平面形貌的研磨工具以及制造方法。该研磨工具包括通过一种金属粘结剂连接到一个低热膨胀系数(CTE)基底上的磨料颗粒。存在范围从约0.1μm/m-℃至约5.0μm/m-℃的一个总CTE失配。该总CTE失配是磨料颗粒和金属粘结剂的CTE失配与低CTE基底和金属粘结剂的CTE失配之间的差值。 | ||
| 申请公布号 | CN102470505B | 申请公布日期 | 2014.07.30 |
| 申请号 | CN201080031324.1 | 申请日期 | 2010.07.16 |
| 申请人 | 圣戈班磨料磨具有限公司;法国圣戈班磨料磨具公司 | 发明人 | J·吴;G·张;R·W·J·霍尔 |
| 分类号 | B24B37/24(2012.01)I;B24D18/00(2006.01)I;B24B53/12(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/24(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 章蕾 |
| 主权项 | 一种研磨工具，包括：通过一种金属粘结剂连接到一种低热膨胀系数(CTE)基底上的磨料颗粒，其中存在范围从0.1μm／m‑℃至5.0μm／m‑℃的一个总CTE失配，其中该总CTE失配是这些磨料颗粒和该金属粘结剂的CTE失配与该低热膨胀系数(CTE)基底和该金属粘结剂的CTE失配之间的差值。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||