一种CUSP磁场发生装置

摘要

本实用新型涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种CUSP磁场发生装置，包括屏蔽体、置于屏蔽体内的线圈、支撑块和置于屏蔽体外水冷器；所述屏蔽体包括圆柱形筒体和设置在圆柱形筒体上下端的环形端盖；所述上线圈和下线圈均采用相同尺寸的铜管密绕而成，相邻铜管之间均设置绝缘板；所述上线圈和下线圈之间、下线圈和屏蔽体之间均设有支撑块；该磁场磁力线分布为轴对称，晶棒的轴向径向均匀性得到保证；在拉晶面上纵向磁场基本为零，不会影响氧的蒸发；在坩埚壁上磁场基本与之垂直，可以减少坩埚的溶解；在其他大部分区域有着较强的轴向和径向磁场，能够有效的抑制热对流。

主权项

一种CUSP磁场发生装置，包括屏蔽体，其特征在于，还包括置于屏蔽体内的线圈、支撑块和置于屏蔽体外水冷器；所述屏蔽体包括圆柱形筒体和设置在圆柱形筒体上下端的环形端盖；所述线圈包括上线圈和下线圈，所述上线圈和下线圈均采用相同尺寸的铜管密绕而成，相邻铜管之间均设置绝缘板；所述上线圈和下线圈之间、下线圈和屏蔽体之间均设有支撑块，起支撑作用；所述置于屏蔽体外水冷器是用以控制上线圈、下线圈的温度不超过60℃和屏蔽体的温度不超过45℃。