漏晶检测装置

摘要

本实用新型属于半导体芯片封装设备领域，具体涉及一种自动粘片机的漏晶检测装置，其中的光敏传感器固定安装在吸嘴的上方，反光平面镜设置在吸嘴从拾取到粘贴芯片的运动路径下方，漏晶检测灯的光束通过光纤投射到反光平面镜上，光纤的固定端对准漏晶检测灯，光纤的活动端对准反光平面镜。本实用新型解决了漏晶检测装置存在的检测灵敏度不高，漏晶检测灯的安装和调整不够方便的问题，具有结构简单、检测灵敏度高、易于调整、工作可靠、成本低的优点。

主权项

一种漏晶检测装置，包括光敏传感器、漏晶检测灯，光敏传感器固定安装在吸嘴的上方，其特征是，还包括反光平面镜和光纤，所述反光平面镜设置在吸嘴从拾取到粘贴芯片的运动路径下方，所述漏晶检测灯的光束通过所述光纤投射到反光平面镜上。