X射线装置、X射线照射方法及构造物的制造方法

摘要

本发明是有关于一种可以抑制检测精度降低的X射线装置。该装置对物体照射X射线，并对穿透物体的X射线进行检测。该X射线装置设有射出X射线的X射线源；设有保持物体的载台；设有检测装置对从X射线源射出、并穿透物体的X射线其至少一部分进行检测；设有形成内部空间的腔室部件，其内部可配置X射线源、载台、及检测装置；设有隔离部，将内部空间分隔为可配置X射线源的第一空间，和可配置检测装置的第二空间。

主权项

一种X射线装置，对物体照射X射线，并对穿透上述物体的X射线进行检测，其特征在于包括：设有射出X射线的X射线源，保持上述物体的载台；，用以从上述X射线源射出、对穿透上述物体的上述X射线的至少一部分进行检测的检测装置；用以形成上述X射线源、上述载台、及上述检测装置所配置的内部空间的腔室部件；将上述内部空间隔离为可配置上述X射线源的第一空间，和可配置上述检测器的第二空间的隔离部。