等离子显示屏剥离液及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种等离子显示屏剥离液及其制备方法与应用。该剥离液包括季铵氢氧化物、酰胺化合物、二元醇类溶剂、防腐剂和去离子水。该剥离液能够迅速、完全的剥离光致抗蚀剂，而且对布线材料等的腐蚀作用较少。即使在剥离光致抗蚀剂的处理后用水进行漂洗，也不会导致不溶物的沉淀，并且对环境和人体具有高度安全性。该剥离液对湿蚀刻工序中发生变质的光致抗蚀剂可以有效地剥离除去光致抗蚀剂图案，对于像构成等离子面板的金属膜、氧化膜的无机材料物质具有极低腐蚀性，具有重要的应用价值。

主权项

一种剥离液，包括式I所示季铵氢氧化物、式II所示酰胺化合物、有机溶剂、防腐剂和水，所述式I中，R₁、R₂和R₃均选自C1‑C5的烷基；所述式II中，R₁和R₂均选自H、CH₃和C₂H₅中的任意一种；所述剥离液中，各组分所占质量百分比分别为：所述式I所示季铵氢氧化物：1‑15%；所述式II所示酰胺化合物：2‑5%；所述有机溶剂：5‑25%；所述防腐剂：0.01‑2%；所述水为余量。