静压气体轴承

摘要

本实用新型提供一种谋求小型化、轻量化以及低成本的静压气体轴承。在轴承衬垫（9a）以及（9b）的轴承面（51）上设有真空吸附用槽（19）。使基于来自轴承衬垫（9a）的轴承面（51）的压缩空气喷出而产生的垂直方向上的浮起力、和基于由真空吸附用槽（19）的真空吸引而产生的垂直方向上的真空吸附力及轴承衬垫（9a、9b）的重力取得平衡，由此在垂直方向上支承轴承衬垫（9a），并使基于来自轴承衬垫（9b）的轴承面（51）的压缩空气喷出而产生的水平方向上的浮起力、和基于由真空吸附槽（19）的真空吸引而产生的水平方向上的真空吸附力取得平衡，由此将轴承衬垫（9b）在水平方向上支承。

主权项

一种静压气体轴承，其特征在于，具有固定体和轴承衬垫，该轴承衬垫具有与设在该固定体上的平面状的引导面隔着轴承间隙相对的平面状的轴承面，在所述轴承面上设有对所述轴承间隙喷出压缩气体的压缩气体喷出部、和吸引固定体的真空吸附部。