| 摘要 |
<p>Vakuumpumpen-System mit einer ersten partikelunempfindlichen Vakuumpumpe (10), einer in Strömungsrichtung nach der ersten Vakuumpumpe (10) angeordneten partikelempfindlichen zweiten Vakuumpumpe (12), einem zwischen den Vakuumpumpen (10, 12) angeordneten Verbindungselement (14) und einem zwischen den Vakuumpumpen (10, 12) angeordneten Filterelement (28) dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (14) die erste Vakuumpumpe (10) trägt und das Filterelement (18, 20) mit dem Verbindungselement (14) verbunden ist.</p> |
