发明名称 |
一种去边液处理装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种去边液处理装置,包括压力气源、承压罐、出液管路,承压罐内装有去边液,压力气源通过气体管路与承压罐相连,出液管路与承压罐相连,出液管路上设有流量计和气动阀,所述压力气源的气源为氦气;出液管路上还设有真空罐;真空罐内设有用于供去边液流通的管道,该管道为特氟龙管。本实用新型提供了一种避免在去边过程中的会产生气阻现象的去边液处理装置。 |
申请公布号 |
CN203732879U |
申请公布日期 |
2014.07.23 |
申请号 |
CN201420050345.3 |
申请日期 |
2014.01.26 |
申请人 |
西安神光安瑞光电科技有限公司 |
发明人 |
张亚鹏;罗建华;陈起伟;郭鹏 |
分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
倪金荣 |
主权项 |
一种去边液处理装置,包括压力气源、承压罐、出液管路,承压罐内装有去边液,压力气源通过气体管路与承压罐相连,出液管路与承压罐相连,出液管路上设有流量计和气动阀,其特征在于:所述压力气源的气源为氦气;出液管路上还设有真空罐;真空罐内设有用于供去边液流通的管道,该管道为特氟龙管。 |
地址 |
710100 陕西省西安市航天基地东长安街888号 |