一种X射线双谱仪

摘要

本实用新型涉及一种X射线双谱仪，所述双谱仪包括：4千瓦功率X射线管，三维样品移动台，CCD相机，毛细管X光半透镜，半导体X射线探测器和电子学系统I，平面晶体，NaI X射线探测器和电子学系统II，准直狭缝I和准直狭缝II；X射线能谱和波谱共有一个4千瓦大功率X射线管，毛细管X光半透镜固定于半导体X射线探测器和电子学系统I前，毛细管X光半透镜位于样品斜上方并成67.5度的角度对准样品用于收集样品的微区元素所激发出来的元素特征能量的X射线，计算机控制的三维样品移动台移动样品做线扫描或面扫描分析或样品中感兴趣的微区。

主权项

一种X射线双谱仪，其特征在于，所述双谱仪包括： 4千瓦功率X射线管(1)，三维样品移动台(2)，CCD相机(3)，毛细管X光半透镜(4)，半导体X射线探测器和电子学系统I(5)，平面晶体(6)，NaI X射线探测器和电子学系统II(7)，准直狭缝I(8)和准直狭缝II(10)； 所述4千瓦功率X射线管(1)位于三维样品移动台(2)的左侧的斜上方，与水平面成45度角，所述4千瓦功率X射线管(1)发出的X射线以45度的角度照射在所述三维样品移动台(2)上的待探测样品上； 所述准直狭缝I(8)、准直狭缝II(10)、平面晶体(6)和NaI X射线探测器和电子学系统II(7)位于三维样品移动台(2)的右侧的斜上方；从样品激发出的元素特征X射线穿过准直狭缝II(10)经过平面晶体(6)分光后穿过准直狭缝I(8)后进入NaI X射线探测器和电子学系统II(7)； 所述毛细管X光半透镜(4)位于半导体X射线探测器和电子学系统I(5)的前端，所述毛细管X光半透镜(4)固定于半导体X射线探测器前，在样品的右侧与样品的水平面成67.5度夹角，所述毛细管X光半透镜(4)的小直径端对准所述样品待探测的微区域(9)，大直径端对准半导体X射线探测器和电子学系统I(5)；X射线以满足在空心玻璃管内壁发射全反射的角度从毛细管X光半透镜(4)的小直径端进入空心玻璃管，在空心玻璃管的光滑内壁全反射的方式在毛细玻璃管的内部进行传输； CCD相机(3)位于样品的正上方，计算机控制所述三维样品移动台(2)可以移动样品向X、Y和Z三个方向移动，和CCD相机(3)相结合以便于快速找到被测微区域(9)。