用于滤波和混合的MEMS谐振器

摘要

一种操作微机电系统对多个信号进行滤波和混合的方法，所述机电系统包括谐振器、激励电极以及第一检测电极。所述方法包括将第一交流电压信号施加于激励电极，其中产生频率带宽大于且包括谐振器机械频率响应的谐振带宽的激励力，以及其中产生谐振器位移，所述位移由机械频率响应滤波并且改变第一检测电极电特性的数值。所述方法还包括将第二交流电压信号施加于第一检测电极，其中第二第一信号与变化值混合以产生第一交流电流信号。检测第一检测电极处的第一交流电流信号。

主权项

一种操作微机电系统对多个信号进行滤波和混合的方法，该微机电系统包括谐振器(10、110)、激励电极(20、120)以及第一检测电极(30、130)，所述方法包括：将第一交流电压信号施加于激励电极(20、120)，其中产生频率带宽大于等于谐振器机械频率响应的谐振带宽的激励力，以及其中产生谐振器位移，所述位移由机械频率响应滤波并且改变第一检测电极(30、130)电特性的数值；将第二交流电压信号施加于第一检测电极(30、130)，其中第二电压信号与改变的第一检测电极(30、130)电特性的数值混合以产生第一交流电流信号；以及检测第一检测电极(30、130)处的第一交流电流信号。