目标定位装置

摘要

一种目标定位装置，尤其用于光刻系统，其包括用于承载目标的载体(300)，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X-支撑台基座(401、402)，二者皆布置在公共基板(403)的顶部上，每一个X-支撑台基座承载一X-支撑台托架(404、405)，以及一Y-梁(406)，所述Y-梁包括用以承载所述载体并在第二方向(Y)上移动该载体的Y-支撑台(407)。所述Y-梁跨接该X-支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器(408、409)而被连接到该X-支撑台托架上。该装置还包括两个电机(M1、M2)，每一个用以沿着相应的X-支撑台基座驱动相应的X-支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。所述两个电机中的每一个被连接至一偏心凸轮或曲柄(410、411)，后者经由一曲柄轴(412、413)而被连接至该相对应的X-支撑台托架。

主权项

一种目标定位装置，尤其用于光刻系统，该目标定位装置包括：用于承载目标的载体，用于承载载体并沿着第一方向（X）移动该载体的支撑台，其中所述支撑台包括两个X‑支撑台基座以及Y‑梁，这两个X‑支撑台基座布置在共同基板的顶部上，其中每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并在第二方向（Y）上移动该载体的Y‑支撑台，其中所述Y‑梁跨接所述两个X‑支撑台托架之间的空间并经由柔性连接器而被连接到所述两个X‑支撑台托架上，以及两个电机，每一个电机用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架，其中该两个电机至少大致被设置在支撑台下方，所述两个电机中的每一个均被连接至偏心凸轮或曲柄，所述偏心凸轮或曲柄经由曲柄轴而被连接至相对应的X‑支撑台托架。