光罩与使用该光罩之薄膜电晶体阵列面板之制造方法

摘要

一种用于使非晶矽结晶之光罩，其包括一第一狭缝区域，该第一狭缝区域包含用以界定雷射束之入射区域的复数个规则排列之狭缝，其中该第一狭缝区域之该等狭缝系形成为相对于结晶制程中光罩之传送方向倾斜一预定角度，且其中该第一狭缝区域之该等狭缝包括一具有一第一长度之第一狭缝及一具有一长于该第一长度之第二长度之第二狭缝。

主权项

一种薄膜电晶体阵列面板制造方法，其包括：藉由将一雷射束透过一光罩照射至一非晶矽层而形成一多晶矽层，该光罩平行于该阵列面板传送且具有相对于一传送方向倾斜之一狭缝图案，其中该多晶矽晶粒之边界对凖一方向，且该方向相对于该薄膜电晶体之通道方向倾斜。