基板冷却装置

摘要

本发明提供一种可一面搬送基板一面效率佳地均匀冷却基板面内之基板冷却装置。该基板冷却装置系以包围由辊搬送机构10所形成之基板W之搬送通路之周围之方式，设置两端部开放之隧道状之风洞部20。藉由于风洞部20之两端部附设通风筒50，而使其内侧空洞部成为两端部开放之气体流路25。于风洞部20之搬送方向之部设置排气箱70，并且于气体流路25之两端附近设置气刀喷嘴80。若一面藉由排气箱70自气体流路25进行排气一面由气刀喷嘴80对气体流路25喷吹空气，则会于气体流路25内形成空气流。藉由沿着该气体流路25搬送加热后之基板W而进行冷却处理。

主权项

一种基板冷却装置，其特征在于：其系对加热后之基板进行冷却处理者，包括：搬送机构，其于特定之方向搬送基板；风洞部，其于上述搬送机构之基板之搬送路径之周围形成两端部开放之气体流路；及气流形成机构，其于上述气体流路中沿着基板之搬送方向形成气流，其中于上述风洞部附设有将气体引导向上述气体流路之两端部之至少一方之通风筒。